Ярымүткәргечләр җитештерүдә материал сайлау процесс сыйфаты һәм продуктның нәтиҗәлелеге өчен бик мөһим. 99,7% алюминий оксиды керамик пластинасын ялтырату пластинасы, югары нәтиҗәле керамик материал буларак, ярымүткәргечләр сәнәгатендә киң кулланыла, чөнки аларның гаҗәеп физик һәм химик үзлекләре бар. Бу мәкаләдә ... үзенчәлекләре тикшерелә.99,7% алюминий оксиды керамик пластинаны ялтырату пластинасыһәм аларның ярымүткәргечләр җитештерүдәге мөһим роле.
1. 99,7% алюминий оксиды керамикасының үзлекләре
99,7% алюминий оксидыннан торган керамика - югары чисталыклы материал, ул нигездә α-глинозем оксидыннан (Al₂O₃) тора. Аның төп үзенчәлекләре:
Югары сафлык:99,7% алюминий оксиды химик тотрыклылыкны тәэмин итә, ярымүткәргеч процессларда пычрану куркынычын минимальләштерә.
Югары температурага чыдамлык:1600°C тан югары температураларда тотрыклы, бу аны диффузия, оксидлашу һәм химик пар утырту (ХПК) кебек югары температуралы процесслар өчен идеаль итә.
Коррозиягә каршы торучанлык:Кислоталар, селтеләр һәм коррозияле газларга каршы тора, гравюра һәм чистарту процессларында тотрыклы эш сыйфатын саклый.
Югары катылык һәм тузуга чыдамлык:Гаҗәеп катылык озак вакыт куллану вакытында минималь тузуны тәэмин итә, хезмәт итү вакытын озайта.
Югары сыйфатлы изоляция:Бик яхшы электр изоляциясе үзлекләре электр изоляциясе таләп итә торган мохиткә туры килә.
2. Ярымүткәргечләр җитештерүдә кулланылыш
99,7% алюминий оксидыннан торган керамик пластина ялтырату пластинасы ярымүткәргечләр җитештерүдә төп роль уйный, шул исәптән:
Вафли белән эш итү:Литография, гравюра һәм юка пленкалы утырту вакытында пластиналарны ныгыту һәм тоту өчен кулланыла, югары температуралы һәм коррозияле мохиттә тотрыклылыкны тәэмин итә.
Югары температуралы процесслар:Диффузион мичләрдә һәм CVD җиһазларында термик бәрелүләргә чыдам, пластина деформациясен булдырмас өчен үлчәм тотрыклылыгын саклый.
Гравюра ясау һәм чистарту:Коррозиягә чыдамлылык плазма белән эшкәртү һәм көчле кислоталар яки селтеләр белән дымлы чистарту процессларында ныклыкны тәэмин итә.
Упаковка һәм сынау:Чипны төргәкләү һәм сынау өчен тотрыклы платформа тәэмин итә, процессның төгәллеген тәэмин итә.
3. Өстенлекләр һәм кыенлыклар
99,7% алюминий оксидыннан эшләнгән керамик пластинаны ялтырату өчен кулланыла торган пластинаның өстенлекләре аның югары сафлыгында, җылылык тотрыклылыгында һәм коррозиягә чыдамлыгында, ярымүткәргечләр җитештерүнең катгый таләпләрен канәгатьләндерүендә. Ләкин, катлаулы җитештерү процесслары, югары чыгымнар, өслекнең тигезлеге һәм үлчәм төгәллеге өчен катгый таләпләр җитештерү өчен техник киртәләр тудыра торган кыенлыклар арасында.
4. Киләчәккә караш
Ярымүткәргеч технологиясе алга киткән саен, керамик табаклар өчен җитештерү таләпләре арта барачак. Киләчәктә үсеш материалларны модификацияләүгә һәм җитештерү процессларын оптимальләштерүгә юнәлтелергә мөмкин, бу җылылык үткәрүчәнлеген, механик ныклыкны һәм чыгымнарны киметүдән арындырырга ярдәм итәчәк, киләсе буын ярымүткәргечләр җитештерү ихтыяҗларын канәгатьләндерәчәк.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 7 марты