Чемшуналюминий оксиды пластинасын ялтырату пластинасы/борын өстәле югары сафлыктагы 99,7-99,9% алюминий оксидыннан эшләнгән. Югары сафлыктагы алюминий керамикасы пластиналарны ялтырату өчен гаҗәеп катылык һәм бик яхшы тузуга чыдамлык белән аерылып тора һәм озак вакыт дәвамында яхшы өслек формасын саклый. Ул PIBM ярдәмендә формалаштырыла. Ул тиңдәшсез җылылык һәм үлчәм тотрыклылыгы, шулай ук каты микрочип эшкәртү җиһазлары мохитенә чыдамлыгы аркасында ярымүткәргечләр сәнәгатенең әгъзасы.
Химик-механик планаризация (ХМП), шулай ук Химик-механик полировка дип тә атала, ул ярымүткәргеч җайланмалар җитештерү процессындагы технология. Ул эшкәртү барышында кремний пластиналарын яки башка субстрат материалларын шомарту өчен химик коррозия һәм механик көчләр куллана.
CMP җиһазлары, нигездә, ике өлешкә бүленә: ялтырату өлеше һәм чистарту өлеше. Ялтырату өлеше 4 өлештән тора, атап әйткәндә, 3 ялтырату әйләндергеченнән һәм пластинаны йөкләү һәм бушату модуленнән. Чистарту өлеше пластинаны чистарту һәм киптерү өчен җаваплы, шуның белән пластинаның "кибүе һәм кибүе" тәэмин ителә. Ялтырату җиһазларында алюминий оксиды керамикасы мөһим роль уйный.
Глинозем керамикасы гадәттә пластина ялтырату дискларын әзерләү өчен кулланыла, алар югары чисталык, югары химик ныклык һәм өслек формасын һәм тупаслыгын яхшы контрольдә тотуны таләп итә.
Chemshun 99,7% Al2O3 керамик тарту дискы алдынгы керамик материаллардан эшләнгән, ул төрле материалларны, бигрәк тә пластиналар, керамика һәм пыяла кебек ватык материалларны тарту өчен яраклы. Безнең керамик тарту дискы төрле тарту һәм ялтырату модельләренә карап төрле зурлыкларда ясалырга мөмкин.
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 30 мае